檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "蘇順豐".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="郭鴻飛"
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以光點陣列掃描 (Point Array Scanning) 成像的數位微影系統,使用數位微反射鏡裝置(Digital Micromirror Device, DMD)作為產生光點陣列的元件,透過控…
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在半導體製程中,先進封裝(Advanced Package, AP)被視為持續摩爾定律的辦法之一,使用不同功能之晶片將其進行堆疊,並使用先進封裝可以得到較小的元件尺寸,本文將研究探討數位微影曝光系統…
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幾十年來半導體工業仰賴微影光學將電路圖案之設計轉印至晶圓基板上,隨著電路設計圖樣日益縮小,目前已逼近至微影製程的光學極限,解析度增強技術(resolution enhancement techniq…